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當前位置 >> 程控管式爐沉積設備  程控管式爐沉積設備
 
  
編號:
JYL08001
名稱:
程控管式爐沉積設備
類別:
非標(準)實驗設備
 
  說明:

 用  途
  主要適用於在高、中溫及真空條件下完成的多種工藝(例如:沉積、退火、催化、氧化、合金等)。

  組成部分

   ①、程控微型管式爐(可編程智能 PID 調節器及高溫微型爐體)

   ②、氣體控製係統(含兩路 MFC 及氣體管路部件)

   ③、真空操作係統(含真空泵,數顯真空計,截止閥,調壓管路)

   ④、密封冷卻水套、顆粒過濾器及工藝管
   主要技術參數
    爐 管 直 徑:  Ф70mm(還可以根據使用需要定做)[工藝管外徑Ф52mm ]
    爐 體 長 度 : 500mm [工藝管長度 1000 mm ]
    最 高 溫 度: 1200 ℃
    溫度使用範圍: 100 ℃ ~ 1200℃
    控 溫 精 度: ≤ ± 1℃
   ● 升 溫 時 間:  ≤20min(室溫至1200 ℃)
    控 溫 方 式:  程序調節時按編程曲線控製溫度的升、降速率及恒溫的定時控製(可編程 4 條曲線)
   ● 最大升溫功率: 小於 2KW
   ● 恒 溫 功 率:  小於 1KW
   ● 係統極限真空度: 優於 5 Pa
   ● 流 量 量 程:  0~500SCCM
   ● 流量控製精度: ≤±2%F.S
   ● 供 電 電 源:  380V / 220VAC ; 16A 50Hz ( 三相五線製 )
   ● 外形尺寸(mm): 程控微型管式爐: 寬×深×高 = 520 × 420 × 550

             氣體控製係統: 寬×深×高 = 480 × 420 × 500

             真空操作係統: 寬×深×高 = 480 × 420 × 500 (真空泵外置)
   ● 重    量:  40Kg ( 積木式一字排放在工作台上 )

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