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當前位置 >> 科研及小規模生產型管式爐  科研及小規模生產型管式爐
 
  
編號:
JYL02001
名稱:
科研及小規模生產型管式爐
類別:
管式爐係列
 
  說明:

用  途
 高、中溫爐:
    主要用於高溫氧化,硼、磷擴散等工藝,是製作矽器件的關鍵設備之一。
 中、低溫爐:
    主要用於半導體激光器、矽器件等製作時的中溫氧化及合金、燒結、退火等工藝。
 特 高 溫爐:
    主要適用於科研方麵的特殊工藝需要
  主要技術參數
型  號
高、中溫爐
中、低溫爐 特 高 溫 爐
     ●爐 管 直 徑
90mm; 120mm; 150mm
     ●最 高 溫 度
1200 ℃
700 ℃
1700 ℃
     ●溫度使用範圍
350 ℃ ~ 1200℃
200 ℃ ~ 700℃
800 ℃ ~ 1650℃
     ●恒溫區長度
400mm
300mm
300mm
     ●溫度均勻性
± 1℃
± 1℃
± 1℃
     ●控 溫 精 度
≤ ± 1℃
≤ ± 1℃
≤ ± 1℃
     ●升 溫 時 間
≤40min(室溫至1200 ℃)
≤30min(室溫至700 ℃)
由編程曲線決定
     ●控 溫 方 式
 ① 定值控製 (根據用戶要求設定)
 ② 程序控製( 程序調節時按編程曲線控製溫度的升、降速率及恒溫時間 )
     ●最大升溫功率
小於 8KW
小於 6KW
小於12KW
     ●恒 溫 功 率
小於 4KW
小於 3KW
小於6KW
     ●供 電 電 源
380/220VAC 16A 50Hz
380/220VAC 16A 50Hz
380/220VAC 16A 50Hz
     ●外形尺寸(mm)
長×寬×高
長×寬×高
長×寬×高
     包括工作台部分
1600×700×1500
1600×600×1400
1800×700×1700
     ●重    量 
150Kg(帶有地輪和支腳)
100Kg(帶有地輪和支腳)
200Kg(帶有地輪和支腳)
     ●管 路 係 統
根據用戶需要另外配置

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